Partikel

Partikel sind kleine Teilchen welche sich im festen Aggregatszustand befinden. Die Größe kann bei Partikeln um mehrere µm variieren. Im Reinraum wird durch Vorgaben die maximale Anzahl der erlaubten Partikel einer bestimmten Größe vorgegeben. Beachtet werden muss, dass schon geringfügige äußere Einflüsse das Gleichgewicht im Reinraum stören.

Diese Grafik vergleicht die Größen von Partikeln aus unserer Umgebung. Fingerabdruck bezieht sich hierbei auf die Größe der Partikel, welche von einem Fingerabdruck hinterlassen werden.