AMC (airborne molecular contamination)

Eine immer wichtiger werdende Kontaminationsquelle im Reinraum stellen die sogenannten luftgetragenen molekularen Kontaminationen (airborne molecular contamination, AMC) dar. In der DIN EN SIO 14644-8 wird die Klassifizierung der chemischen Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen beschrieben. Außerdem stellt dieser Teil der Norm ein Protokoll zur Verfügung, um Prüfverfahren, Analysen und Zeitgewichtungsfaktoren in die Festlegung zur Klassifizierung einzuschließen. Zu dieser Art von Kontamination gehören zum Beispiel Ausdampfungen von Säuren, Basen, Lösemitteln oder Silikonen. Diese gasförmigen Verunreinigungen besitzen eine Größe zwischen 0,003 µm – 0,1 µm und sind somit um einiges kleiner als beispielsweise Staubpartikel (0,1 µm – 5,0 µm). Sie können nicht mit einem klassischen Partikelzähler erfasst werden, müssen aber kontinuierlich überwacht werden, da sie einen negativen Einfluss auf die Qualität der im Reinraum produzierten Produkte haben können. Vor allem in der Halbleiterindustrie können diese sehr kleinen Kontaminationen mikroelektronischen Bauteilen zum Verhängnis werden und Stromkreisläufe unterbrechen.