ESD (electrostatic discharge)

Electrostatic discharge, zu Deutsch elektrostatische Entladung (ESD), beschreibt den Vorgang des Ausgleichs von elektrischen Potentialdifferenzen (Ladungen) zwischen zwei Körpern. Diese zwei Körper sind beispielsweise ein Computerchip und der Mensch. Durch diesen Ausgleich entstehen Spannungsdurchschläge - diese könnte man auch als ungezielte Ableitungen beschreiben, die meist nur kurz als Funken oder oft auch garnicht sichtbar sind. Trotz der kurzen Dauer verursachen diese Funken eine Art Entzündung des elektrischen Bauteils, was auf den hohen elektrischen Strom zurück zu führen ist. Auch können die Funken im schlimmsten Fall zu Verletzungen an Personen führen.

Gefahren durch ESD im Reinraum

Begünstigt werden elektrostatische Aufladungen beispielsweise durch extrem niedrige Luftfeuchtigkeiten von unter 20%. Bei Kontakt mit geerdeten Gegenständen, zum Bespiel wenn man an ein Auto fasst, wird die Entladung oft spürbar. Die größte Gefahr ist jedoch, dass viele elektrostatische Entladungen unter der Wahrnehmbarkeitsgrenze des Menschen liegen. Jedoch reichen diese geringen Spannungen oftmals aus um ein elektrisches Bauteil bereits zu zerstören, was gerade in der Halbleiterindustrie von großer Bedeutung ist. Diese Zerstörung ist meist nur unter einem Mikroskop sichtbar, jedoch wird das Bauteil sofort unbrauchbar. Zu begründen ist dies damit, dass trotz der verhältnismäßig geringen elektrischen Energie eine sehr hohe elektrische Leistung und daraus eine sehr hohe elektrische Leistungsdichte im Bauelement auftritt. In kurzer Zeit ist eine geringe Fläche einer hohen Spannung ausgesetzt.

Wir haben die richtige Kleidung und Produkte für Ihre Anwendungen

Um ungeplante Entladungen so gut wie möglich zu vermeiden und Schäden an elektrischen, elektronischen und optoelektronischen Bauteilen vorzubeugen, wird eine spezielle Reinraum ESD-Kleidung empfohlen. Diese spezielle Kleidung ermöglicht dem Körper Ladungen, welche sich zum Beispiel durch Reibungswiderstand beim Gehen aufbauen, wieder abzubauen, wodurch Schäden vermieden werden können. Beispielsweise besteht eine ESD-gerechte Reinraumbekleidung aus speziellen Überschuhen, Handschuhen, Overalls und selbstverständlich speziellen Schuhen. Zudem sollte darauf geachtet werden, dass auch Ihr Reinigungsequipment sowie Ihre Verpackungen entsprechend ESD-gerecht angepasst sind.
An die Bekleidung von Mitarbeitern, die Umgebung der Herstellung, aber auch an das Verhalten der Mitarbeiter werden deshalb in ESD-gefährdeten Bereichen wie der Halbleiterproduktion erhöhte Anforderungen gestellt. Außer der speziellen Arbeitskleidung werden in entsprechend riskanten Bereichen ableitfähige Möbel, Antistatikbänder und Umgebungsluft, welche zuvor einer Ionisation unterzogen wurde, eingesetzt. Dabei sind alle Komponenten entsprechend geerdet. Auch werden ESD-gerechte Fußböden eingesetzt, die durch eine ausreichende Leitfähigkeit die Ableitung der elektrischen Ladung ermöglichen.