Betriebszustände

Damit die messtechnischen Prüfungen im Reinraum immer bei gleichen Bedingungen stattfinden können, werden drei Betriebszustände definiert, „as built“ (Bereitstellung), „at rest“ (Leerlauf) und „in operation“ (Fertigung). Bei der Bereitstellung ist die Reinraumanlage voll funktionsfähig, aber keine Inneneinrichtung vorhanden. Bei dem Betriebszustand Leerlauf ist die Reinraumanlage ebenfalls funktionsfähig, das Equipment ist installiert, aber nicht in Betrieb. Erst bei der Fertigung sind die Anlagen in Betrieb und das Personal anwesend.