DIN EN ISO 14644 (Reinraum/ Reinraumbereiche)

Die DIN EN ISO 14644 ist eine Norm für Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche. Sie regelt Verfahren und Systeme im Reinraum. Das Hauptaugenmerk liegt dabei auf den luftgetragenen Partikeln. Die Norm ist in mehreren Teile aufgebaut:

  1. Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
  2. Überwachung zum Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration
  3. Prüfverfahren
  4. Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme
  5. Betrieb
  6. -
  7. SD-Module
  8. Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienbeständigkeit
  9. Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit
  10. Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit
  11. -
  12. -
  13. Reinheit von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen
  14. Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentrationen in der Luft
  15. Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Ausrüstungsgegenstände und Materialien anhand der chemischen Luft- und Oberflächenkonzentration
  16. Leitfaden zur Verbesserung der Energieeffizienz von Reinräumen und Reinluftgeräten